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微波等离子清洗机

产品价格面议

产品品牌戈德尔——Guarder

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更新日期2015-04-06 01:36

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招远普斯玛等离子技术有限公司

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商品信息

基本参数

品牌：	戈德尔——Guarder
所在地：	山东烟台市
起订：	未填
供货总量：	未填
有效期至：	长期有效

详细说明

加工定制	是	机器类型	清洗机	用途	工业用
原理	微波	品牌	戈德尔 Guarder	工作频率	2.45GHZ
型号	WB300	工作电压	220（伏）	功率	1000（瓦）

nfig="{"showOn":["mod-detail-description"],"title":"详细信息","tabConfig":{"trace":"tabdetail","showKey":"mod-detail-description"}}" ready-to-show="true" jquery1720006028757381033423="85">

>> 产品特点
WB300采用专利高密度微波等离子技术，用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理，微波等离子高度活性、高效，且不会对电子装置产生离子损害。
微波等离子体系统是下列用途的理想方式：
等离子体表面改性
有机物表面等离子体清洁
邦定强度增强
等离子体刻蚀应用
等离子体灰化应用
增强或减弱浸润性
其它等离子体系统应用
>> 技术参数
◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
1000(W)×800(D)×1750(H)mm
◆ 仓体结构(石英，约20升)
Φ 245mm ×400Lmm
◆ 等离子发生器(德国)
频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节,可连续长时间工作
◆ 控制系统
触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
英国爱德华斡旋式干泵 GV40
美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器
台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管
◆ 充气系统
美国MKS高精度电子质量流量计(2路气体配制)
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件